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質量流量控制器

Flow range: 30sccm~30slm

Fitting:1/4" swaglock

Connector:D-Type

Brooks(USA)

- 氣體質量流量計：顯示氣體流量 
- 氣體質量流量控制器：顯示氣體流量、控制氣體流量、控制流量開關

特點：
數位和類比訊號輸出
互補金屬氧化半導體元件
不受溫度及壓力變化影響
最小壓力損失
高精準度和高解析度
外型設計美觀

規格：
氣體種類 : Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10..etc. (or request)
本體材質 : Aluminum, Stainless Steel
封口材質 : Viton, EPDM
準確度 : Standard: +/-1.5%FS Hi-performance:+/-1% of reading
比率 : 1:100 (Request)
反應時間 : ＜150ms
最大壓力 : Max.14 bar
類比輸出 : 4-20mA, 0-20mA, 0-5V, 0-10V,1-5V
數位輸出 : RS-485(Modbus RTU protocol)for Flow and Temperature
氣體範圍 : 2-200ml/min to 4-300Liter/min (Request)
電源供應器 : 24vdc +/-10%


Digital and analog interface as standard
CMOS sensor technology (Complementary Metal Oxide Semiconductor)
Insensitive to pressure and Temperature change
Minimum pressure drop
High accuracy and turndown ratio
Extremely compact unit
Resistant to pressure bump